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슬릿밸브
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반도체 장치 등에서 로드 록 챔버와 트랜스퍼 챔버 및 트랜스퍼 챔버와 프로세스 챔버 간의 파티션 밸브로 적용하고 있습니다.
450mm 웨이퍼 대응 게이트 밸브 윗면 액세스 가능 벨로스 교환 가능 2단 동작 구조 채용 End Lock 기구 부착
장수명: 300만회(상온일 때) 발진량: 1/5 이하로 저감(종래품 대비) 메인터넌스성 - 벨로스 교환가능, \n 게이트 교체용이: Top Access 방식(주문제작품) 안전대책 - 메커니컬 구조 End Lock 채용 국내출시: 2018년 1월