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슬릿 밸브 / 도어 밸브 XGT / XGD Series
450mm 웨이퍼 대응 게이트 밸브 윗면 액세스 가능 벨로스 교환 가능 2단 동작 구조 채용 End Lock 기구 부착
사양 정보
| 시리즈 | 사용압력범위(Pa) | 사용유체 | 게이트 사이즈 (높이×폭)(mm) |
작동 압력 (MPa) |
|---|---|---|---|---|
| XGT/슬릿 밸브 | 대기압~1×10?6 | 비활성 가스 | 56×496 | 0.45~0.6 |
| XGD/도어 밸브 | 대기압~1×10?6 | 비활성 가스 | 56×496 | 0.4~0.6 |
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