전체 카테고리
슬릿 밸브 XGT Series
반도체 장치 등에서 로드 록 챔버와 트랜스퍼 챔버 및 트랜스퍼 챔버와 프로세스 챔버 간의 파티션 밸브로 적용하고 있습니다.
사양 정보
| 시리즈 | 사용압력범위(Pa) | 사용유체 | 게이트 사이즈 (높이×폭)(mm) |
작동 압력 (MPa) |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 대기압~1×10 -6 | 비활성 가스계의 진공 | 32×222 46×236 50×336 |
0.45~0.6 |
관련자료
회사소개|개인정보처리방침|이용약관|공지사항|고객센터
(주)스펙
제품 가격, 견적 및 배송 문의: 010-5228-2922 김재성 과장
쇼핑몰 이용 문의: 010-2931-9867 김태형
대표자: 김태형경기도 성남시 수정구 위례광장로 21-12, B102호사업자등록번호: 328-81-03146
개인정보보호책임자: 김태형ehplayer@gmail.com
