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고진공밸브

사양 정보

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벨로스 내구성 향상 (플랜지 사이즈 100,160) 수명 : 200 만회 장치의 공간 절약화 가능\n 　배기 방향 제한 없음 (밸브체측 ← → 벨로스측 양방향 가능)\n 　설치자세의 자유도 향상 경량 · 콤팩트

불소에 강함 아웃 가스가 적다 중금속 오염이 적다 \n ※ XLA(V)/C/F(V)/G의 플랜지 사이즈 16~80은 2017년 9월에 모델이 변경되었습니다.\n XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2 시리즈를 선정하여 주십시오.

원터치 탈착(공구 필요없음)

가스 잔류가 없는 정밀 주조 일체 구조 알루미늄제 고진공 L형 밸브 XL 시리즈와 호환성이 있는 설치(XM 시리즈)

최고사용압력:1×10-6Pa(abs) 누설량:내부 1.3×10-9Pa·m3/s, 외부 1.3×10-11Pa·m3/s 2종의 피팅, 암나사를 구비 소비전력:최대 25% 삭감 질량:최대 18% 삭감 0.5kg→0.41kg

밸브와 니들 밸브 일체화 구조 배관 공간 1/4 (종래비) Seat부에 메탈 다이어프램 채용으로 파티클을 대폭 저감 초기 급기, 주급기 모두 유량 조정 가능

알루미늄 몸체 채용\n 균일한 베이킹 온도\n 경량·콤팩트\n 아웃 가스 적음\n 중금속 오염 적음\n 벨로스 교환이 가능