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고진공 스트레이트 전자 밸브 XSA Series
최고사용압력:1×10-6Pa(abs) 누설량:내부 1.3×10-9Pa·m3/s, 외부 1.3×10-11Pa·m3/s 2종의 피팅, 암나사를 구비 소비전력:최대 25% 삭감 질량:최대 18% 삭감 0.5kg→0.41kg
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