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고진공 스트레이트 전자 밸브 XSA Series
최고사용압력:1×10-6Pa(abs) 누설량:내부 1.3×10-9Pa·m3/s, 외부 1.3×10-11Pa·m3/s 2종의 피팅, 암나사를 구비 소비전력:최대 25% 삭감 질량:최대 18% 삭감 0.5kg→0.41kg
사양 정보
| 시리즈 | 밸브 형식 | 사용유체 | 배관접속방식 | 배관사이즈 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 상시 닫힘형 | 공기 비활성 가스 |
Face Seal 피팅 컴프레션 피팅 |
1/4, 3/8 |
| XSA | 상시 닫힘형 | 공기 비활성 가스 |
Rc, NPT 암나사 | 1/8, 1/4, 3/8 |
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