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약액용밸브
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파티클 발생을 억제 / 푸트 프린트 삭감에 공헌\n 특수 구조로 밸브 닫힘 시의 충격을 저감. 파티클의 발생을 억제.\n 푸트 프린트 삭감(종래비): 밸브 폭 20% 삭감, 설치 피치 45% 삭감. 고압/고배압 대응\n ・사용 압력: 0~0.5 MPa(종래비 최대 66% 향상)\n ・배압: 0~0.5 MPa(종래비 150% 향상)
몸체재질 : New PFA 동일 형상의 N.C./N.O./복동 유체온도 100℃에 대응 매니폴드 형식 : LLC2, LLC3, LLC4, LLC5
몸체재질:New PFA／SUS／PPS 다이어프램 재질:PTFE, EPR, NBR 선택 가능 유기용제 대응 몸체:SUS, 액추에이터부:ADC, 버퍼:FKM/EPDM 선택 매니폴드 형식:LLA2, LLA3, LLA4, LLA5
몸체재질:New PFA／SUS／PPS Lock식・Non Lock식에 대응 유기용제 대응 몸체：SUS, 액추에이터부：ADC, 버퍼:FKM/EPDM 선택 매니폴드 형식:LLH2，LLH3，LLH4
소형·공간 절약 타입을 라인 업. 배관방향치수 MAX29% 감축 몸체 재질:New PFA 다이어프램 재질:PTFE 액추에이터 재질:PPS, PVDF(LVD-F/FN)
무나사 일체 구조. 액추에이터부와 몸체부의 체결에 금속 나사를 사용하지 않는 비메탈 구조 몸체재질 : New PFA 다이어프램 재질 : PTFE 액추에이터부 재질 : PVDF 주) 튜브사이즈
염화비닐 배관 대응 : 유니온형, PVC 무고정 유니온 부착 몸체재질 : CPVC, 다이어프램 재질 : PTFE O-ring 재질 : FKM, EPDM (선택 가능) 적용유체 : 탈이온수(순수), 약액
고순도 불소수지의 접액부 적용 적용유체 온도범위가 100℃까지 확대 LQ3 하이퍼 플레어 타입 배관 표준 3가지 종류의 바디 사이즈 제공 ^-X20^:유체회로의 배압으로 인한 역류 방지 옵션 작은 공간과 응답성능에 최적화된 ITV시리즈와 20시리즈 적용 가능
JIS 규격 염화 비닐제 배관대응(JIS K 6742) 적용유체:탈이온수(순수), 약액 액접촉부 재질:PVC(몸체), PTFE(포핏), FKM(O-ring:표준), EPDM(O-ring:옵션) 유량특성:Cv값 10~198 유니온 접속으로 배관이 용이