파티클 발생을 억제 / 푸트 프린트 삭감에 공헌\n 　특수 구조로 밸브 닫힘 시의 충격을 저감. 파티클의 발생을 억제.\n 　푸트 프린트 삭감(종래비): 밸브 폭 20% 삭감, 설치 피치 45% 삭감. 고압/고배압 대응\n 　・사용 압력: 0~0.5 MPa(종래비 최대 66% 향상)\n ・배압: 0~0.5 MPa(종래비 150% 향상)