공장내 순환수와의 직접 열 교환기 냉동기가 필요하지 않은 온도범위에서의 온도조절용 높은 온도 안정성, 폭 넓은 온도범위, 고장 진단, 외부 통신 등 충실한 장비로 반도체 프로세스 장치에 실적 다수 UL, SEMI 규격 적합, CE 마킹 인버터 타입의 선택 가능