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냉동식 서모 칠러 HRZ Series

높은 온도 안정성, 폭 넓은 온도범위, 고장 진단, 외부 통신 등 충실한 장비로 \n 반도체 프로세스 장치에 실적 다수 각종 안전 규격에 대응 UL, SEMI 규격 적합, CE 마킹 ※ HRZ 시리즈는 2021년 12월경 판매중지 예정입니다. \n HRZ-F Series를 선정해 주십시오.
사양 정보
시리즈 | 설정온도 범위 |
최대냉각 능력 |
온도 안정성 |
냉각방식 | 순환액 |
---|---|---|---|---|---|
HRZ | -20~40℃ 20~90℃ -20~90℃ |
15kW | ±0.1℃ | 수냉 냉동식 | 불소화액 청수 탈이온수(순수) 에틸렌글리콜 수용액 |
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