냉동식 서모 칠러 HRZ Series
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높은 온도 안정성, 폭 넓은 온도범위, 고장 진단, 외부 통신 등 충실한 장비로 \n 반도체 프로세스 장치에 실적 다수 각종 안전 규격에 대응 UL, SEMI 규격 적합, CE 마킹 ※ HRZ 시리즈는 2021년 12월경 판매중지 예정입니다. \n HRZ-F Series를 선정해 주십시오.

사양 정보
냉동식 서모 칠러 HRZ
시리즈 설정온도
범위
최대냉각
능력
온도
안정성
냉각방식 순환액
HRZ -20~40℃
20~90℃
-20~90℃
15kW ±0.1℃ 수냉 냉동식 불소화액
청수
탈이온수(순수)
에틸렌글리콜 수용액
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