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플로 센서 PFMV Series
미세 워크의 흡착 확인 반복정도 ±2%F.S. 응답속도 5ms 이하, 내압 500kPa 그리스 무도포, RoHS 대응 전압모니터 하나로 전체 범위 대응 관련기기 : 석션필터 ZFC050 시리즈
사양 정보
| 시리즈 | 정격유량범위(L/min) |
|---|---|
| PFMV | 0~0.5 0~1 0~3 －0.5~0.5 －1~1 －3~3 |
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