클린 에어 모듈 LLB Series
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클린 기기를 모듈화(배관 공수 삭감/공간 절약) 간편하게 클린 에어를 얻을 수 있습니다 여과도 : 0.01μm(포집 효율 99.99%) 유체 접촉부 : 그리스 무도포, 무실리콘 클린 룸 조립 2중 포장 출하 24 종류의 조합이 가능 주) 입구 공기 조건 ISO8573-1 품질 등급 1.4.1~1.6.1 상당

사양 정보
LLB
시리즈 사용유체 설정압력 유량범위 L/min(ANR)
LLB3 클린 에어, N2 가스 주) 0.05~0.4MPa 5~100
LLB4 클린 에어, N2 가스 주) 0.05~0.4MPa 50~500
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