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클린 가스 필터 SF Series
엘리먼트 교환이 가능한 카트리지 타입 (SFA100?200?300, SFB100) 반도체 프로세스용으로 콤팩트한 일회용 타입 (SFB300, SFC100)
사양 정보
| 타입 | 시리즈 | 사용압력 | 여과도(㎛) |
|---|---|---|---|
| 카트리지 타입 디스크형 |
SFA100?200?300 | Max.0.99MPa (진공 : 1.3×10-6kPa) |
0.01 (포집 효율 99.99%) |
| 카트리지 타입 스트레이트형 |
SFB100 | Max.0.99MPa (진공 : 1.3×10-6kPa) |
0.01 (포집 효율 99.99%) |
| 일회용 타입 스트레이트형 |
SFB300 | Max.0.99MPa (진공 : 1.3×10-6kPa) |
0.01 (포집 효율 99.99%) |
| 일회용 타입 다단 디스크형 |
SFC100 | Max.0.99MPa (진공 : 1.3×10-6kPa) |
0.01 (포집 효율 99.99%) |
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