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진공 유니트 ZX Series
이젝터 시스템/진공 펌프 시스템 모듈 설계로 필요 기능·조합이 가능 100g까지의 전자부품이나 소형 정밀 부품에 최적 이젝터 시스템/진공 펌프 시스템 매니폴드화 가능
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