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로터리 구동형 3핑거 타입 에어 척 MHR3 / MDHR3 Series
로터리 액추에이터를 구동원으로 하였기 때문에 높이 방향의 소형화를 실현 반복정도 ±0.01mm 클린 룸 Class 10에 대응 가능 오토스위치 부착 ((MDHR3 시리즈 : MDHR3)
사양 정보
| 시리즈 | 실린더 내경(mm) |
|---|---|
| MHR3 | 호칭 10, 15 |
| MDHR3 | 호칭 10, 15 |
관련자료
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