0603칩 대응 응답속도 : 13msec(500mm시※)/18.5msec(1000mm 시※) 오버슈트가 없이 매끄럽게 워크 이탈 진공·정압의 전환 타이밍 조정이 필요 파괴에어의 오리피스회로 불필요 석션 필터 : ZFC050(주문제작품) ※ 유니트에서 워크까지의 거리