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프로세스가스용기기

사양 정보

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레귤레이터(압력조정기) 고순도 프로세스 가스용

AP / SL / AP / AZ Series

반도체 산업 등, 청정도가 높은 가스 공급 용도에 대응 몸체 재질은 SUS316L 더블멜트 혹은 SUS316L를 사용 가스접촉부 전해 연마 처리 외부 메탈 Seal 구조

레귤레이터(압력조정기) 배압밸브 일반 가스용

AK / BP Series

반도체에서부터 일반 산업까지 폭 넓은 용도에 사용 가능한 표준 모델 유체에 따른 몸체 재질은 SUS316 또는 황동의 선택이 가능

다이어프램 밸브 고순도 프로세스 가스용

AP Series

반도체 산업 등, 청정도가 높은 가스 공급 용도에 대응 가스의 차단밸브로서 사용 가스접촉부에 스프링이 없고, 구동부도 다이어프램으로 격리되어 있으므로 유로의 쓸모없는 공간이 적어져, 파티클의 발생을 억제

다이어프램 밸브 고순도 프로세스 가스용

AZ Series

정밀 세정 및 클린 룸 조립 전 제품 헬륨 누설 검사 완료 SEMI 규격 준거 작업자에 유리한 단조 구조

다이어프램 밸브 일반 가스용

AK Series

배관 구성- 컴프레션 피팅, Rc, R, NPT\n - 반도체부터 일반 산업 용도까지 사용 가능한 표준 타입\n - 정밀 세정을 실시 액추에이터의 높이를 낮게하여 제품의 소형, 경량화를 실현 (AK3542, 4542)\n - 조작 포트 M5 나사 (AK3542, 4542) 핸들 구조를 개량하여 제품의 소형, 경량화를 실현 (AK3652, 4652) 손잡이 부착 둥근 핸들을 채용하여 조작성, 시인성이 향상 (AK3652, 4652)

감압밸브 / 일반 가스용

AK1000T Series

반도체에서 일반산업용 제품까지 사용가능한 스탠다드 모델 제품의 소형, 경량화를 실현\n 질량 : 0.52kg, 높이 : 97.5mm 내부용적의 소설계화로 가스 모음을 감소 배관 구성\n 컴프레션 피팅, NPT 암나사, Rc나사에서 선택 가능

진공 제너레이터 / 플로 스위치

AP Series

[진공 레귤레이터] 진공 발생 기기 가스 봄베 교환 시, 배관 중에 남아 있는 불필요한 가스의 배출 용도에 대응 [플로 스위치] 배관의 파단 등에 따른 과잉 유량의 검출